蔡司XENOS以久经考验的蔡司CenterMax为基础，采用了全新的机械设计，令人印象深刻。不同于标准的桥式设计，Y导轨位于侧壁顶部，将所有移动轴与夹紧区域隔开。由于只有横梁在Y轴方向移动，因此移动质量较小，始终保持恒定，这是与移动工作台相比的真正优势。重量的减轻和质量的不断移动使驱动装置在加速和高速方面实现了出色协调。
此外，新型空气轴承的连接刚度更高，增强了稳定性，从而提高了精度。
通过改进去耦和采用分散模块的新电子概念，所有三坐标测量机上移动电缆对精度的影响已明显降低。
全新的计算机辅助精度（CAA）验收方法和额外的CAA改进在实现高精度方面发挥着越来越重要的作用。
蔡司XENOS标配蔡司VAST gold基准测头。在蔡司XENOS的开发过程中，蔡司的这款功能强大的传感器得到了进一步优化，以获得更高的精度和可重复性。
蔡司XENOS上与轴套更坚固的连接也是全新设计。蔡司VAST gold传感器专为长度达到800 mm的测针和重量达500克的测针（包括非对称测针配置）而设计。
特点
虚拟中央驱动装置
蔡司XENOS在Y方向上有两个线性驱动装置，通过蔡司开发的新技术:中央驱动装置实现同步。该装置可确保根据X轴的位置优化驱动力分配。
这得益于新一代的控制器和算法。这是在整个测量范围内实现高精度和路径一致性的关键因素。
所有轴上的线性驱动装置
蔡司XENOS的所有轴均使用线性驱动装置。优势:高速、极快的加速度，高定位精度和无剪切力驱动。结合高分辨率标尺，蔡司XENOS上使用的线性驱动装置可提供高路径附着力和低于100纳米的高定位精度。
例如，测针挠度更恒定，因此精度更高。在测是曲面时，另一个优点也十分明显:测针越可靠、越准确地沿着指定路径移动，便越能准确地确定误差。
碳化硅陶瓷
蔡司XENOS在决定精度的机器部件中使用了创新的碳化硅陶瓷。目前，这种材料还极少被用于类似的部件尺寸或精度。
相较标准的氧化铝陶瓷，碳化硅陶瓷的热膨胀率低约50%，刚度高30%，重量轻20%。其硬度是钢材的两倍
