蔡司MICURA配备了蔡司VAST XT gold或VAST XTR gold高端探头和导航技术，可提供测量精度小于一微米的主动扫描。蔡司MICURA在公差要求严格的小型复杂部件上（例如光学、医疗技术或电子等领域）尤其显示出其优势。尽管三坐标测量机尺寸小巧，但其测量体积却可达到500 × 700 × 600 mm，大大超过同类机器。
蔡司VAST XT gold和VAST XTR gold探头可实现高速扫描，每秒可扫描多达500个测量点。除几何参数外，圆度或平面度等形状和位置参数也可在短时间内精准测量。VAST XT gold探头可配备小测试球。最小的测头直径仅为0.3 mm。
蔡司MICURA标配VAST navigator技术，可在确保测量精度的前提下自动设置理想的测量速度，从而显著缩短测量时间。蔡司MICURA在精度要求较高的地方移动稍慢。如轮廓较简单或测量要求较少，则三坐标测量机的移动速度就会更快。
得益于切向趋近与扫描、螺旋扫描以及快速动态测针校准功能，导航技术能够进一步节省时间。
灵活的蔡司RT-RB-100-1转台可根据需要作为一种装调配置安装在测量区域内，之后又能方便地移出测量区域。该选项可在一台机器上实现四轴测量。
技术要点
计算机辅助精度改进(CAA)
借助计算机对由动态惯性效应引起的误差分量进行修正。
空气轴承和减震器
蔡司四面空气轴承保证了稳定性和测量精度。主动减震器也是标准配置，可对地面振动进行出色过滤。
温度传感器
两个用于记录工件温度的传感器是蔡司MICURA基本设备的一部分。
独立的控制装置
通过将三坐标测量机和控制器分开，可大大降低热影影响。
技术协调
所有组件在技术上相互协调:控制技术、软件、探头和蔡司的附加部件。
探测力的主动控制
探头的探测力可主动控制且十分小，非常适合敏感材料。
