蔡司 Axio Imager Vario

光学和数码显微镜

蔡司 Axio Imager Vario

用于大样品的正置显微镜

使用 ZEISS Axio Imager Vario 分析最小的 MEMS 传感器或整个平板。其色谱柱设计允许您同时研究超大型试样，并提供高稳定性。此外，Axio Imager Vario 还通过了无尘室使用认证。
  • 检查大样品
  • 兼容洁净室
  • 始终保持对焦
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    Advantages

    产品优势

    蔡司 Axio Imager Vario

    检查大样品

    选择手动或电动色谱柱，利用能够研究最大尺寸为 300 mm × 300 mm、最大高度为 254 mm 的试样的优势。无论是处理重样品，还是与蔡司 LSM 共聚焦激光扫描显微镜结合使用，其坚固的色谱柱设计都能提供可靠的稳定性并防止振动

    蔡司 Axio Imager Vario

    洁净室工作认证

    晶圆和光掩模检测在清洁度方面有极其严格的要求。因此，它们是在洁净室中完成的。这些根据 DIN EN ISO 14644-1 进行分类，按每立方米颗粒的数量和大小进行区分。Axio Imager Vario 已通过此标准认证，符合 5 级洁净室的要求。洁净室等级 ISO 5 相当于之前标准 FED STD 100E （209） 的 1992 级。

    蔡司 Axio Imager Vario

    始终保持对焦

    在检查反光、低对比度表面时，只需为 Axio Imager Vario 配备高效的硬件自动对焦功能即可。它保证了反射光和透射光的高精度。传感器检测焦点位置的变化，并自动补偿任何偏差。即使是大型试样在移动时也能保持完美聚焦。

    蔡司 Axio Imager Vario

    硬件自动对焦

    材料研究和工业生产需要确保最大 0.3 倍物镜景深的高精度水平。受益于锁定范围高达 12000 μm 的聚焦系统。将自动聚焦功能用于反射光和透射光、明场、暗场、偏振对比、微分干涉对比和倾斜照明等应用

    Specification

    规格参数

    Software

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